超長耐用  輕便簡潔  操作簡單  放心選擇

氣流控制箱

萊峰流體

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   LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成，它利用流動的流體不同的流量效應而制成，其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量，并分別控制各自氣體的流量，進入混合器進行精密混合，將混合后的氣體按需輸出給用氣點，同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測，保證混合的精確性。

特點

氣流控制系統能準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響，為半導體設備提供氮氣控制及氮氣溫度的控制測量，保證半導體設備能夠正常運行。。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

耐用

耐腐

☆主體采用不銹鋼（304或316L）結構，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

穩定

精確計量

安裝便捷

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

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