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非標氣體定制設備

成都萊峰科技有限公司從事氣體產品行業多年，擁有先進的技術，可為高端精準客戶定制各種氣體方面的非標產品，根據客戶的獨特需求，加入定制功能。定向的設計、研發、制造產品設備，可提供從檢測室→工裝夾具→單工站→整線一體化全方面流體設備定制服務。產品涉及汽車電子、半導體、工業五金、醫療食品、航天航空、實驗室、科研單位等領域，用以滿足高端用戶的特殊需求，在非標氣體定制設備領域備受推崇。

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技術資料

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規格

超長耐用輕便簡潔操作簡單放心選擇

我們不斷的創新只為讓您滿足！

您的肯定，是我們前進的動力

不受溫度壓力的影響如何控制？

萊峰科技

側漏裝置 /非標氣體定制設備

特點

? 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
? 能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
? 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到3000 slm
? 耐高壓等級 - 高達 10MPA
? 可拆卸式流量傳感器
? 不受安裝角度影響
? 能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
? 電驅動閥超調
? 耐化學腐蝕閥門

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

耐用

耐腐

☆主體采用不銹鋼（304或316L）結構，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

穩定

精確計量

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

安裝便捷

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環保

半島體

微電子工藝設備

醫藥

科研院所

精密濃度傳感器工藝

特種材料學科

化學化工

食品保鮮

用于對氣體質量流量進行精密測量和控制，具有精度高，穩定性好，可靠性高，安裝簡單，操作方便。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

機械連接

故障判斷和處理一覽表

序號	故障現象	可能原因	檢查及處理方法
1	無氣流流過輸出電壓0V	1.1 閥控開關關閉	確認閥控開關，在“閥控”或“清洗”位
		1.2 無設定信號	檢查“內外”開關的狀態，設定電位器。測量設定電壓。
		1.3 氣路不通或氣壓差小	檢查氣源壓力、氣路通暢、有無泄漏。
		1.4 過濾器堵塞	更換過濾器
		1.5 控制器內部故障	檢查是否有閥電壓，無閥電壓，修理電路板，有閥電壓，換閥。
		1.6 內部通道故障	檢查通道
2	無氣流，輸出電壓不為零	2.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器
		2.2 電源供電故障	測量控制器插頭處±電源對零電壓值，
		2.3 線路故障	檢查線路有無開路，短連及錯誤。
		2.4 控制器內電路故障	更換線路板或傳感器
3	有氣流，能控制，無流量輸出電壓	3.1 流量信號線路不通	檢查接線，測量流量信號對零電壓。
		3.2 顯示儀故障	測量顯示儀插頭處流量信號對零電壓。如有電壓，則顯示儀故障。
		3.3 控制器內電路故障	測量控制器插頭處流量信號對零電壓。如無電壓，則控制器內電路故障。
4	有氣流，有顯示，不能控制	4.1 地電平不正常	檢查所有地線是否正確連接，有無開路。
		4.2 設定信號不能調節	測量設定信號能否調節，是否接線錯誤或故障。
		4.3 零點嚴重偏差	斷開外調零，關閉調零
		4.4 強電磁干擾	在無干擾環境測試應正常。改善電磁干擾。
		4.5 控制器電路故障	更換電路板
5	閥有較大漏氣	5.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器為零或略微正偏。
		5.2 設定電壓不能到零	測量設定電壓是否到零?？赡茉O定電位器損壞。
		5.3 關閉信號故障	分別打“閥控”和“關閉”，測量其電壓是否正常。
		5.4 出入口氣壓差太大	減小氣壓差
		5.5 閥門污染	清洗閥門，更換密封件
		5.6 控制器內部故障	更換電路板或修整電磁閥
6	氣流控制不穩定	6.1 氣源壓力不穩	穩定氣源壓力，出入口壓差在規定之內。
		6.2 氣路內阻過大	暢通管道，大流量要加粗管道，提高氣源供氣能力。
		6.3 設定信號不穩	用示波器測量設定信號的穩定性，并測量±電源對零電壓值和穩定性。
		6.4 外調零信號不穩	斷開外調零信號
		6.5 控制器內故障	更換線路板，清洗通道，維修電磁閥
7	有氣流，無顯示。不能調控制	7.1 傳感器故障	7.1 傳感器故障修理傳感器及線路，清洗傳感器通道。
8	高頻干擾流量控制	8.1 供電系統地線、零線連接或機殼接地有問題	檢查接地或絕緣隔離，接地系統注意一點接地。
		8.2 信號電平連接點問題	檢查信號及零電平連接線點，杜絕線路干擾串入。
		8.3 空間電磁場干擾	遠離干擾源及屏蔽隔離.
9	流量控制不正常	9.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器
		9.2 電源供電故障	測量控制器插頭處±電源對零電壓值，
		9.3 氣路或氣壓差不正常	檢查氣源壓力及壓差，氣路有無堵塞、污染，有無泄漏。
		9.4 設定信號不正常	測量設定信號電壓值。
		9.5 控制器內部故障	更換傳感器，電路
10	實際氣流值與顯示值偏差過大	10.1 控制器與顯示量程或單位不匹配	匹配控制器與顯示儀。顯示儀設定和顯示電壓范圍是否為（0…5）V或（4…20mA）
		10.2 零點偏差	調整調零電位器
		10.3 氣源或氣壓差不正常	檢查氣源壓力，出入口氣壓差。
		10.4 控制器污染	清洗傳感器通道
11	無氣流，零點不穩或慢漂移	11.1 外調零信號不穩	斷開外調零
11	無氣流，零點不穩或慢漂移	11.2 控制器內部故障	維修或更換傳感器及電路

機械連接

故障判斷和處理一覽表

序號	故障現象	可能原因	檢查及處理方法
1	無氣流流過輸出電壓0V	1.1 閥控開關關閉	確認閥控開關，在“閥控”或“清洗”位
		1.2 無設定信號	檢查“內外”開關的狀態，設定電位器。測量設定電壓。
		1.3 氣路不通或氣壓差小	檢查氣源壓力、氣路通暢、有無泄漏。
		1.4 過濾器堵塞	更換過濾器
		1.5 控制器內部故障	檢查是否有閥電壓，無閥電壓，修理電路板，有閥電壓，換閥。
		1.6 內部通道故障	檢查通道
2	無氣流，輸出電壓不為零	2.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器
		2.2 電源供電故障	測量控制器插頭處±電源對零電壓值，
		2.3 線路故障	檢查線路有無開路，短連及錯誤。
		2.4 控制器內電路故障	更換線路板或傳感器
3	有氣流，能控制，無流量輸出電壓	3.1 流量信號線路不通	檢查接線，測量流量信號對零電壓。
		3.2 顯示儀故障	測量顯示儀插頭處流量信號對零電壓。如有電壓，則顯示儀故障。
		3.3 控制器內電路故障	測量控制器插頭處流量信號對零電壓。如無電壓，則控制器內電路故障。
4	有氣流，有顯示，不能控制	4.1 地電平不正常	檢查所有地線是否正確連接，有無開路。
		4.2 設定信號不能調節	測量設定信號能否調節，是否接線錯誤或故障。
		4.3 零點嚴重偏差	斷開外調零，關閉調零
		4.4 強電磁干擾	在無干擾環境測試應正常。改善電磁干擾。
		4.5 控制器電路故障	更換電路板
5	閥有較大漏氣	5.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器為零或略微正偏。
		5.2 設定電壓不能到零	測量設定電壓是否到零?？赡茉O定電位器損壞。
		5.3 關閉信號故障	分別打“閥控”和“關閉”，測量其電壓是否正常。
		5.4 出入口氣壓差太大	減小氣壓差
		5.5 閥門污染	清洗閥門，更換密封件
		5.6 控制器內部故障	更換電路板或修整電磁閥
6	氣流控制不穩定	6.1 氣源壓力不穩	穩定氣源壓力，出入口壓差在規定之內。
		6.2 氣路內阻過大	暢通管道，大流量要加粗管道，提高氣源供氣能力。
		6.3 設定信號不穩	用示波器測量設定信號的穩定性，并測量±電源對零電壓值和穩定性。
		6.4 外調零信號不穩	斷開外調零信號
		6.5 控制器內故障	更換線路板，清洗通道，維修電磁閥
7	有氣流，無顯示。不能調控制	7.1 傳感器故障	7.1 傳感器故障修理傳感器及線路，清洗傳感器通道。
8	高頻干擾流量控制	8.1 供電系統地線、零線連接或機殼接地有問題	檢查接地或絕緣隔離，接地系統注意一點接地。
		8.2 信號電平連接點問題	檢查信號及零電平連接線點，杜絕線路干擾串入。
		8.3 空間電磁場干擾	遠離干擾源及屏蔽隔離.
9	流量控制不正常	9.1 零點偏差	斷開外調零，調整調零電位器
		9.2 電源供電故障	測量控制器插頭處±電源對零電壓值，
		9.3 氣路或氣壓差不正常	檢查氣源壓力及壓差，氣路有無堵塞、污染，有無泄漏。
		9.4 設定信號不正常	測量設定信號電壓值。
		9.5 控制器內部故障	更換傳感器，電路
10	實際氣流值與顯示值偏差過大	10.1 控制器與顯示量程或單位不匹配	匹配控制器與顯示儀。顯示儀設定和顯示電壓范圍是否為（0…5）V或（4…20mA）
		10.2 零點偏差	調整調零電位器
		10.3 氣源或氣壓差不正常	檢查氣源壓力，出入口氣壓差。
		10.4 控制器污染	清洗傳感器通道
11	無氣流，零點不穩或慢漂移	11.1 外調零信號不穩	斷開外調零
11	無氣流，零點不穩或慢漂移	11.2 控制器內部故障	維修或更換傳感器及電路

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